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公示公告

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之江实验室聚焦网络信息和人工智能两大领域,重点在未来网络计算、泛化人工智能...

招标公告 发布日期:2020-05-14 发布者:钟旭伟

之江实验室关于高精度光场调控模块单一来源采购公示

一.采购人名称:

之江实验室

二.单一来源编号:

/

三.采购项目名称:

高精度光场调控模块 

四.采购项目概况:

序号

项目名称

数量

单位

预算金额

简要规格描述

备注

1

高精度光场调控模块

1

台(套)

644万元人民币

详见单一来源采购专家论证



五.拟采用的采购方式:

单一来源采购方式

六.申请理由:

在双光束激光直写系统中,高质量焦斑是保障装置最终加工精度和质量的关键因素。尤其是3D暗斑,其作用是抑制直写光束与光刻胶发生作用的面积,从而提高加工分辨率。因此,3D暗斑的产生和控制模块是双光束激光直写系统的关键组成模块,3D暗斑的质量直接制约和影响系统加工分辨率。本项目研制的装置要实现50nm以下的高通量激光直写加工,必须依赖高质量、高通量的暗斑。为此,需要配置高质量、高精度光场调控模块,用以生成满足项目参数要求的高通量3D暗斑。

目前,全球范围内只有德国Abberior公司和Leica公司供应相关产品,但两家现有产品无法完全匹配项目所有需要,且Leica公司的产品不具备调控和优化功能。因此,项目组需要根据系统设计方案,提出参数要求,购买定制化的产品。为满足系统的集成化需求,且与我们的整体系统有良好的兼容性,项目组要求供应方在系统兼容性方面提供完整的解决方案和可供优化改造的二次开发软硬件接口。因此,此次定制的光场调控模块,不仅包含基础调控模块,还包含扫描部件,部分光源,部分探测光路,系统控制软件及SDK(含配套服务器和控制系统),供货厂商还将负责该套系统与我们现有仪器、器件的整合集成、兼容性调试、培训等,以保证整套装置的稳定性和精度。

目前,Leica公司的相关产品不单独出售,且不接受定制化。全球只有德国Abberior公司可以提供定制化产品并满足以上服务。因此项目组拟向Abberior公司定制购买一套高精度光场调控模块。

据悉:上海宇北医疗器械有限公司(SRstar Instruments Ltd)是Abberior公司中国区独家授权经销商(独家授权函详见附件)。

七.拟定供应商:

(一)拟定供应商名称

上海宇北医疗器械有限公司

(二)拟定供应商地址

上海市吴中路1079号701室(邮编:201103)

.论证专业人员信息及意见:

专业人员姓名

专业人员工作单位

专业人员职称

李向平

暨南大学

研究员

许迎科

浙江大学

教授

杨旸

浙江大学

教授

张斗国

中国科学技术大学

教授

魏劲松

中科院上海光机所

研究员


具体论证意见:

高精度光场调控模块是高通量光学纳米光刻与成像装置的重要组成部分,其性能直接关系到装置的加工分辨率以及系统的稳定性和可靠性。为了完成装置的开发研制,需要光场调控系统可以产生高质量、可调控的高通量3D暗斑,同时具有快速扫描和二次开发功能等。目前,全球范围内只有德国Abberior公司和Leica公司供应相关产品,但Leica公司的产品不具备调控和优化功能,且拒绝单独出售模块。德国Abberior公司不仅可以提供相关定制化产品,还可根据用户现有仪器设备,提供系统的集成及兼容性调试等服务。因此,该项目所需的高精度光场调控模块,只能从Abberior公司购买。

专家组一致认为只能采用单一来源谈判方式采购。

.其它事项:

供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的,可以在公示期限内(本公示发布之日后的第5个工作日),以书面形式向采购人或代理机构提出异议。 

十.联系方式

采购人名称:之江实验室

联系人:钟旭伟

联系电话:0571-56390603

地址:浙江省杭州市文一西路1818号之江实验室

代理机构名称:浙江省国际技术设备招标有限公司

联系人:马健飞

联系电话:0571-85864736

地址:杭州市凤起路334号同方财富大厦14层



独家授权函.pdf

单一来源采购专家论证表.pdf



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